Metrologie für Wafer MESO™
für Halbleiter

Metrologie für Wafer - MESO™ - Imagine Optic - für Halbleiter
Metrologie für Wafer - MESO™ - Imagine Optic - für Halbleiter
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Eigenschaften

Typ
für Wafer, für Halbleiter

Beschreibung

MESO Metrologie-Lösung Das MESO-Metrologiesystem ist eine Komplettlösung für viele Herausforderungen in der optischen Metrologie. Messungen in der Werkstatt gewährleisten Qualitätskontrollprüfungen und die Prozesskontrolle Ihrer Planoptiken direkt an der Fertigungslinie. Ein einzigartiges Instrument ermöglicht die Messung bei verschiedenen Wellenlängen ohne chromatische Abberationen und die Charakterisierung des gesamten Spektrums Ihrer Optiken ohne Auflösungsverlust. MESO™ ist vollgepackt mit Innovationen: - LIFT-verbessertes, hochauflösendes Wavefront-Sensing - POP - zum Patent angemeldetes Verfahren zur Prüfung von (dünnen) planparallelen Optiken - Die proprietäre Spot Tracker™-Technologie ermöglicht die absolute Messung von Neigung und Wellenfront. SCHLÜSSEL-EIGENSCHAFTEN Unempfindlich gegen Vibrationen Prüfung bei der Entwurfswellenlänge Unempfindlich gegen Reflektionen von der Probenrückseite ANWENDUNGEN MESO ist das perfekte Testwerkzeug für die Kontrolle von: Parallelen Optiken Bildschirmen Filtern, Dichroitiken Spiegeln Strahlenteiler Fenster Substrate Eckwürfel Kristalle Stäbe, Scheiben Glasplättchen Bildschirme Bearbeitete Oberflächen Windschutzscheiben Prismen Große Linsen Optische Systeme Strahlaufweiter sCHLÜSSELSPEZIFIKATIONEN des MESO-Metrologiesystems Horizontale oder vertikale Integration Optischer Zoom von 1,5'' (38,1mm) bis zu 6'' (152mm) Prüfwellenlänge von 405 nm bis 820 nm 680 x 500 Phasenpunkte Auflösung 27us minimale Erfassungszeit KEY SPECS Touchscreen-Bedienung Skriptgesteuerte Prüfverfahren führen den Benutzer durch alle Schritte Automatisierte Steuerung von bis zu 4 eingebetteten Wellenlängen Automatische Steuerung des Prüfdurchmessers Vollständiger automatischer Prüfbericht Einhaltung der ISO10110-Norm Export von Multiformat-Daten

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.