Konkaver Spiegel SHARPeR

Hochpräzision

SHARPeR ist ein Eurostars-Projekt, das die Entwicklung einer neuen hochgenauen automatisierten Messplattform für extrem hochwertige optische Komponenten zum Ziel hat, die beispielsweise in Synchrotronstrahlanlagen, EUV-Lithografiesystemen und Teleskopen benötigt werden. Röntgenspiegel im Metermaßstab werden mit einer Steigungsfehlergenauigkeit von besser als 50 nrad rms charakterisiert. Das System wird drei Hauptelemente beinhalten: - Eine hochstabile und wiederholbare Bewegungsplattform mit Dreh- und Kipptischen - Ein hochpräziser Wellenfrontsensor mit einer absoluten Genauigkeit von λ/1000 rms - Ein fortschrittlicher Stitching-Algorithmus für hochpräzise Ergebnisse Der neue ultrapräzise Shack-Hartmann Wellenfrontsensor ist in einen optischen Kopf integriert, der mit einer speziellen Bewegungsplattform gekoppelt ist, um 2D-Steig-/Höhenkarten zu erstellen. Die zu prüfende Oberfläche kann horizontal oder vertikal ausgerichtet werden, um der tatsächlich verwendeten Konfiguration zu entsprechen. Der Kunde kann sowohl den Längs- (Abtastrichtung) als auch den Querfahrbereich festlegen, um den Umfang des Charakterisierungsbereichs zu erweitern. Optional können dem Bewegungssystem Dreh- und Kippachsen hinzugefügt werden. Dadurch kann der Anwender die zu prüfende optische Komponente automatisch umdrehen, ohne die Messumgebung durch manuelle Eingriffe zu stören.