Chemisches Überwachungssystem CS-1000

KonzentrationMess

Das CS-1000 verbessert Halbleiterherstellungsprozesse, indem es die gleichzeitige Messung von drei Parametern in einer chemischen Lösung mit niedrig konzentrierten Komponenten ermöglicht. HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. (im Folgenden "HORIBA Advanced Techno") hat sein neues CS-1000 Überwachungssystem für chemische Lösungen vorgestellt. Die CS-Serie von Analysatoren, die die Konzentration von Chemikalien, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet werden, in Echtzeit misst, erfüllt seit ihrer Einführung im Jahr 1995 seit fast 30 Jahren die Anforderungen der Industrie. Das CS-1000, ein eigenständiges System mit verbesserter Leistung, ermöglicht den Nachweis spezifischer Chemikalien, die in chemischen Lösungen in Spurenmengen (ppm*1-Niveau) vorhanden sind, ohne jegliche Vorbehandlung, dank eines einzigartigen Algorithmus (Patent angemeldet*2), der die Analyse von Absorption*3, Leitfähigkeit und pH-Wert kombiniert. Durch die gleichzeitige Messung von drei Parametern - Konzentration (bis zu acht chemische Komponenten), Leitfähigkeit und pH-Wert - bei einem Aktualisierungszyklus von nur sechs Sekunden*4 trägt das CS-1000 zur Verbesserung der Qualitätskontrolle bei. Da das CS-1000 alle sechs Monate nur etwa vier Stunden*5 Wartung benötigt, trägt es auch zur Reduzierung von Ausfallzeiten bei. Darüber hinaus unterstützt das CS-1000 die gleichzeitige Messung von zwei verschiedenen chemischen Lösungen und trägt so zu einer erhöhten Produktivität bei. Mit der Miniaturisierung von Halbleitern werden die zu ihrer Herstellung verwendeten Chemikalien immer vielfältiger, z. B. solche, die viele Komponenten oder Spurenkomponenten enthalten. Dies erfordert eine strenge Qualitätskontrolle, die mehrere Parameter umfasst