Massendurchflussmesser D700T

Differenzdruckfür Gas24 VDC

Das D700T ist das leistungsstärkste druckunempfindliche Massendurchflussmodul, das für kritische Halbleiterfertigungsprozesse entwickelt wurde. Das D700T adaptiert die druckbasierte Durchflussmess- und -regeltechnologie von HORIBA CRITERION, um eine branchenführende, wiederholbare und genaue Leistung zu bieten. Die Einzigartigkeit des D700T besteht darin, dass es einen patentierten, fortschrittlichen Durchflussregelungsalgorithmus mit Doppelventilstruktur verwendet, der es dem Gasversorgungssystem des Kunden ermöglicht, mehrere Herausforderungen zu lösen. ≤ 100 msec schnelle Einschwingzeit über die gesamte Bandbreite (Set to Set, Step up und Step down) Einlass- und Auslassdruck unempfindliche Leistung Erweiterte Fehlererkennung zur Diagnose von Drucksensorverschiebung, Ventilsitzleckage und Änderung der Durchflussgenauigkeit Wiederholbarkeit innerhalb von 0,15 %S.P Die beste Genauigkeitsspezifikation liegt innerhalb von 0,45 %S.P.* (Standard: 0,8 %S.P.) Breiterer Betriebstemperaturbereich (15-60 °C)