Thermischer Massen-Durchflussmesser D700uFfür GasPFA
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Eigenschaften
- Technologie
- thermisch/Massen
- Flüssigkeit
- für Gas
- Material
- PFA
- Prozesstemperatur
Max: 45 °C
(113 °F)Min: 15 °C
(59 °F)- Prozessdruck
Max: 4,12 bar
(59,76 psi)Min: 2,4 bar
(34,81 psi)
Beschreibung
Der D700uF (Micro Flow) ist für Durchflussanwendungen von ≤ 5SCCM ausgelegt.
die Durchflussregelung von ≤ 5SCCM ist bei Prozessen mit hohem Aspektverhältnis sehr kritisch
Spezialisierte Komponenten und ein neu entwickelter interner Standard für niedrige Durchflüsse ermöglichen eine hochpräzise Durchflussregelung bis zu 0,025 SCCM.
Durchflussregelung bis zu 0,025SCCM
Präzise Abstimmgassteuerung, verbesserte Prozessabstimmung
≤ 100ms Step-up-Ansprechzeit & MFC-zu-MFC-Abweichungsregelung
Hohe Produktivität und bessere Prozessleistung
Hausinterne Durchflussmesstechnik
Zuverlässige Leistung von allen hergestellten Produkten
Zustandsüberwachungsfunktion
Bereitstellung von mehr internen Daten für eine intelligentere Fehlervorhersage
Bessere Ventilabsperrung und Korrosionsbeständigkeit durch PFA-Düse
Robustheit mit geringerem Partikelrisiko reduziert Ausfallzeiten und optimiert den Ertrag
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Kataloge
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Mass Flow Controller and Module
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.