Partikeldetektionssystem PD Xpadion

Inspektionsplattform der nächsten Generation für zukünftige Anforderungen PD-Xpadion ist die neueste Generation der HORIBA Produktlinie für die Partikelinspektion. Basierend auf einem innovativen, modularen Plattformdesign ist PD Xpadion das richtige Werkzeug, um aktuelle und zukünftige Anforderungen der Masken- und Pellicle-Inspektion in der Lithografie und Maskenproduktion zu erfüllen. Die Fab-Automatisierung, kombiniert mit einer Reihe von HORIBAs Kerntechnologien, ermöglicht es den Anwendern, das PD Xpadion-System nicht nur auf die Partikelinspektion und -detektion zu erweitern, sondern auch auf die Partikelcharakterisierung durch Raman-Analyse, die Dicke und Gleichmäßigkeit des Pellicle-Films sowie auf Tools zur Überwachung des Pellicle-Zustands. Merkmale Einstellbare Erkennungsempfindlichkeit durch Verwendung einer Kombination optischer Systeme OHT, EFEM, Multi-Port, Multi-Slot-Anpassung Fähigkeit zur Neuanalyse von Prüfdaten für eine schnellere Optimierung von Prüfrezepten Integrationsmöglichkeiten mit anderen HORIBA Sensorprodukten wie Raman-Spektroskopie und Ellipsometrie Funktion zur Reduzierung von Fehlerkennungen Innovative Software mit verbesserter Benutzerfreundlichkeit