Die Messung des absoluten Drucks ist für die meisten Vakuumprozesse in verschiedenen Branchen wie Halbleiter, FPD, HDD, PV und Beschichtung von entscheidender Bedeutung. Ein Kapazitätsmanometer bestimmt den Gesamtdruck aus der Verformung der Membran, die auftritt, wenn eine Druckdifferenz auf beiden Seiten der Membran angelegt wird. Die Vorzüge des Kapazitätsmanometers gegenüber anderen Methoden sind:
-höhere Präzision
-geringere Gasabhängigkeit der Druckausgabe
-Relativ resistent gegen korrosive Gase
Merkmale
Kompakte selbstheizende Konstruktion
Original-Signalverarbeitungsmethode für genaue Messungen
SUS316L-Diaphragma
Wählbar zwischen temperaturgesteuertem (55, 100°C) oder nicht beheiztem Typ
ONE PUSH ReZero
Leistungsanforderungen +/-15VDC oder 24VDC
CE & RoHS-konform
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