Spektrometrischer Analysator QL series

GasÜberwachungSpektrum

Das MICROPOLE-System ist eines der kleinsten Massenspektrometersysteme und daher leicht zu installieren. Das System hat sich als ideale Lösung für viele Kammercharakterisierungsanwendungen erwiesen. Die kompakte Größe wird durch das patentierte Design der Miniaturanordnung von Quadrupol-Massenfiltern erreicht. Das System ist in der Lage, bei wesentlich höheren Drücken zu arbeiten als herkömmliche Systeme, so dass der Bedarf an zusätzlicher Differenzialpumpenausrüstung reduziert wird. Merkmale Äußerst kompakte Größe und geringes Gewicht 1/20 der Größe im Vergleich zu herkömmlichen Restgasanalysatoren, so dass es leicht in jedes System integriert werden kann Hohe Leistung Mini-Array aus 9 Quadrupolen bietet hervorragende Empfindlichkeit bei einem Bruchteil des Volumens herkömmlicher Quadrupole Betrieb unter hohem Druck Kann bei einem Druck von bis zu 0,9Pa (7mTorr, 9 x 10-3mbar) eingesetzt werden, wodurch bei vielen Anwendungen teure Vakuumpumpen eingespart oder überflüssig werden können Auswechselbare Sensorköpfe bei der Kalibrierung Die Sensorköpfe werden vor der Auslieferung voreingestellt und kalibriert, so dass der Benutzer die Sensoren vor Ort austauschen kann, ohne dass eine Feinabstimmung oder technisches Fachwissen erforderlich ist Netzwerksensoren Bis zu acht Sensoren können von einem einzigen PC über RS-485 überwacht werden. Ein PC-loser Scanbetrieb über externe E/A ist ebenfalls möglich. Benutzerfreundliche Software Mit der Micropole Scanner™ 2 Software kann der Benutzer Partialdrücke von Gasen in verschiedenen Modi überwachen, z. B. als Trend-, Spektrum- oder Balkendiagramm.