Verteiler / thermischer Massendurchsatz FS-3000

FS-3000 kombiniert den Massendurchflussregler (MFC) von HORIBA STEC mit dem MuCube (Masterregler). Durch die Steuerung des MFC vom MuCube, der mit dem proprietären Regelalgorithmus von HORIBA STEC ausgestattet ist, erreicht der FS-3000 eine stabile Spaltregelung. Der Regelalgorithmus realisiert eine stabile Durchfluss-Splitting-Regelung, indem er das Durchflussverhältnis regelt, während er den Druck des oberen Stroms des FS-3000 mit HORIBA STECs originärer Regeloptimierungstechnologie steuert. Darüber hinaus ermöglicht der Regelalgorithmus eine schnelle Reaktion auf die Aufteilung der Durchflussmenge, selbst wenn die Aufteilungsverhältnisse geändert werden. Verbesserte Erweiterbarkeit und Wartungsleistung FS-3000 unterstützt die Aufteilung von bis zu 15 Durchflusskanälen durch Hochgeschwindigkeitssignalverarbeitung. Wenn der MFC ausfällt, kann der FS-3000 einfach repariert werden, indem nur der defekte Slave ausgetauscht wird. FS-3000 unterstützt eine breite Palette von Gasen, einschließlich Mischgasen, und kann flexibel auf die erforderlichen Spezifikationen reagieren. Darüber hinaus unterstützt der FS-3000 RS-485 und DeviceNet als Benutzerschnittstellen.