Thermischer Massen-Durchflussmesser D700MG

Massenfür Gasdigital

In kritischen Halbleiterherstellungsprozessen werden kontinuierlich Präzisionsgasflusssteuerungsgeräte benötigt, die sowohl zukünftige Innovationen als auch den Übergang von modernsten Speicher- und Logikbauteilen vom Labor zur Fertigung ermöglichen. HORIBA bietet das neue druckbasierte MFC D700MG an, das obere kompatible Modell des D500MG, um die Herausforderungen der Kunden zu bewältigen. Merkmale On-Tool Gas- und Vollskalen-Konfigurationsänderung *nur EtherCAT Bietet Flexibilität für die Prozessoptimierung 100 ms Hochlaufzeit & MFC-zu-MFC-Abweichungsregelung Erzielt hohe Produktivität und bessere Prozessleistung MRMG-Funktionalität für kleine Durchflussmengen (Bin101 - Bin105) Bietet Flexibilität für Prozesse, die eine kleine Durchflussrate erfordern Bessere Ventilabsperrung und Korrosionsbeständigkeit durch PFA-Düse Robustheit mit geringerem Partikelrisiko reduziert Ausfallzeiten und optimiert den Ertrag Zustandsüberwachungsfunktion Bereitstellung von mehr internen Daten für eine intelligentere Fehlervorhersage Ausgabeelemente der Zustandsüberwachungsfunktion Durchfluss-/Druck-Nullstellung zählt Anzahl der Ventilantriebe Aufzeichnung von max/min P0,P1,P2 Druck Aufzeichnung der Max/Min-Blocktemperatur Gesamtzeit über/unter dem spezifizierten Druck Gesamtzeit über/unter der Temperaturvorgabe Gesamtarbeitszeit Gesamte Kontrollzeit Gesamtdurchlaufzeit (pro Kalibrierungsinstanz) Gesamtdurchflussmenge (pro Kalibrierungsinstanz)