Dichte-Überwachungssystem SLIA-300

MessWasserkompakt

Nachgewiesene Erfolgsbilanz bei der Siliziumdioxid-Analyse von ultrareinem Wasser! Kompakte/hochempfindliche neue Leistung. Die Kieselsäurekonzentration in Reinstwasser hat einen erheblichen Einfluss auf die Produktpräzision und -ausbeute in Halbleiter-/FPD-Prozessen. Zuverlässige Erfüllung der Messanforderungen von 1μg/L (1ppb). Es wurden hochempfindliche Messungen über den gesamten Messbereich in einem kompakten Tischgehäuse erzielt. Mit seiner ausgezeichneten Grundleistung und hohen Empfindlichkeit, einschließlich Hochgeschwindigkeitsreaktion und Selbstdiagnosefähigkeiten, unterstützt es die Reinstwasserprozesse in der Halbleiter-/FPD-Herstellung in hohem Maße. Eine einzigartige, neu entwickelte Zelle sorgt für hohe Empfindlichkeit bei niedrigen Konzentrationen. Schnelle 5-Minuten-Messungen garantieren eine Wiederholbarkeit von ±2 % des Skalenendwerts im Bereich von 0 bis 2 μg/L. Eine neu entwickelte Zelle bietet ein revolutionäres kompaktes Design. Diese Tischausführung kann in einer Vielzahl von Installationsbedingungen verwendet werden, einschließlich kleiner Räume. Durch den Einsatz einer verbesserten Reaktionszelle konnte der Verbrauch an Reagenzien auf 1/5 der herkömmlichen Reagenzien reduziert werden. Die laufenden Kosten für Reagenzien können erheblich gesenkt werden. 1 bis 6 Messpunkte können frei eingestellt werden. Ein einziges Gerät kann zur Unterstützung von Mehrpunktmessungen verwendet werden. Die Selbstdiagnosefunktion erkennt Anomalien bei Vorgängen wie Proben- und Reagenzieninjektion, Kalibrierungsfehler, Überwachung der Zelltemperatur und Anomalien der Lichtquelle. Im Falle von Fehlern wird eine Meldung über eine Alarmanzeige sowie eine Textanzeige gesendet, um den Benutzer zu benachrichtigen.