Dichte-Überwachungssystem SLIA-300

KonzentrationWasserMess

Nachgewiesene Erfolgsbilanz bei der Siliziumdioxid-Analyse von ultrareinem Wasser! Kompakte/hochempfindliche neue Leistung. Die Kieselsäurekonzentration in Reinstwasser hat einen erheblichen Einfluss auf die Produktpräzision und -ausbeute in Halbleiter-/FPD-Prozessen. Zuverlässige Erfüllung der Messanforderungen von 1μg/L (1ppb). Es wurden hochempfindliche Messungen über den gesamten Messbereich in einem kompakten Tischgehäuse erzielt. Mit seiner ausgezeichneten Grundleistung und hohen Empfindlichkeit, einschließlich Hochgeschwindigkeitsreaktion und Selbstdiagnosefähigkeiten, unterstützt es die Reinstwasserprozesse in der Halbleiter-/FPD-Fertigung in hohem Maße. Hohe Empfindlichkeit mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit Eine einzigartige, neu entwickelte Zelle sorgt für eine hohe Empfindlichkeit bei niedrigen Konzentrationen. Schnelle 5-Minuten-Messungen garantieren eine Wiederholbarkeit von ±2 % des Skalenendwerts im Bereich von 0 bis 2 μg/L. Kompakte Tischausführung Eine neu entwickelte Zelle bietet ein revolutionäres kompaktes Design. Dieses Tischdesign kann in einer Vielzahl von Installationsbedingungen verwendet werden, einschließlich kleiner Räume. Es ist auch möglich, es als tragbares Gerät zu verwenden. Der Reagenzienverbrauch ist auf 1/5 reduziert Durch den Einsatz einer verbesserten Reaktionszelle konnte der Verbrauch von Reagenzien auf 1/5 der herkömmlichen Reagenzien reduziert werden. Die laufenden Kosten für Reagenzien können erheblich gesenkt werden. Möglichkeit zur Messung von bis zu 6 Punkten (optional) es können 1 bis 6 Messpunkte frei eingestellt werden. Ein einziges Gerät kann zur Unterstützung von Mehrpunktmessungen verwendet werden. Selbstdiagnosefunktion zur Überwachung von Betriebsanomalien Die Selbstdiagnosefunktion erkennt Anomalien bei Vorgängen wie der Injektion von Proben und Reagenzien