Konzentrations-Überwachungssystem CS-700

Messchemischspektroskopisch

Dies ist ein chemischer Konzentrationsmonitor, der in der Lage ist, die Konzentration jeder Komponente in gemischten Lösungen, die in den Halbleiterherstellungsprozessen verwendet werden, genau zu messen. Ideal für die Kontrolle von Mehrkomponenten-Chemikalien, einschließlich markengeschützter Chemikalien. Er trägt zu einer verbesserten Qualitätskontrolle in der Halbleiterfertigung bei und verbessert gleichzeitig die Genauigkeit des Chemikalienmanagements. Kompatibel mit mehrkomponentigen Chemikalien Es können Mischungen von bis zu acht Komponenten von Chemikalien genau gemessen werden. Keine Reagenzien erforderlich Da die Komponententrennung durch ein optisches Messverfahren ohne den Einsatz von Reagenzien erfolgt, trägt sie auch zur Kostensenkung im Produktionsprozess bei. Bedingungen der Messung 1) Messintervall: ca. 8 Sek. 2) Zeit des gleitenden Durchschnitts: 10 Mal 3) Atmosphärische Temperatur, chemische Temperaturschwankung: innerhalb von +/- 1 Grad C (Zeitspanne: 1 Stunde). Plötzliche Temperaturschwankungen sollten vermieden werden 4) Bedingung der Probentemperatur: 20 bis 30 Grad C Die Reproduzierbarkeit ist die maximale Abweichung vom durchschnittlichen Messwert über einen kontinuierlichen Messzeitraum von 1 Stunde. Die Werte in der obigen Tabelle sind Analogausgangswerten zwischen 4 - 20 mA zugeordnet. (maximaler Widerstand von 500Ω)