Ein auf Lichtwellenleitern basierender Monitor für chemische Konzentrationen zur Messung von Chemikalien, die in Halbleiterherstellungsprozessen wie Reinigung und Ätzen verwendet werden.
Es können Messungen von Hochtemperaturchemikalien durchgeführt werden, die für modernste Nassprozesse unerlässlich sind. Ermöglicht schnelle, stabile und platzsparende Lösungen, die zu einer Optimierung und höheren Präzision des Chemikalienmanagements führen.
Stabile Messung von Hochtemperaturchemikalien
Dank überlegener optischer Systeme und algorithmischer Verfahren ist es möglich, stabile Messungen chemischer Lösungen auch bei hohen Temperaturen (20-80 °C) durchzuführen, ohne dass Anpassungen oder eine weitere Verarbeitung erforderlich sind. Außerdem muss der Bediener die Chemikalien nicht kühlen.
Es werden bis zu sechs Arten von Chemikalien (Chemikalien oder Bereiche) unterstützt
Messungen von bis zu sechs Arten von Chemikalien (Chemikalien oder Bereiche) sind mit einem einzigen Monitor möglich. Die gewünschten Chemikalientypen oder -bereiche können für die Messung frei spezifiziert werden, so dass ein breites Spektrum an Messanforderungen abgedeckt werden kann.
Stabile Messung von Chemikalien bei hohen Temperaturen
Dank überlegener optischer Systeme und algorithmischer Verfahren ist es möglich, stabile Messungen chemischer Lösungen auch bei hohen Temperaturen (20-80 °C) durchzuführen, ohne dass Anpassungen oder eine weitere Verarbeitung erforderlich sind. Außerdem muss der Bediener die Chemikalien nicht kühlen.
Es werden bis zu sechs Arten von Chemikalien (Chemikalien oder Bereiche) unterstützt
Messungen von bis zu sechs Arten von Chemikalien (Chemikalien oder Bereiche) sind mit einem einzigen Monitor möglich.
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