Tisch-Leitfähigkeitsmessgerät HE-960LC

Prozess

Ein Leitfähigkeitsmessgerät für niedrige Konzentrationen, das hoch chemikalienbeständige Kohlenstoffsensoren enthält. Ideal für die Rückgewinnung von Chemikalien und reinem Wasser in der Halbleiterherstellung und FPD (Flat Panel Display)-Herstellungsprozessen. Durch den Einsatz eines chemisch resistenten zweipoligen Kohlenstoffsensors misst es die Leitfähigkeit von Chemikalien und eignet sich daher für das Konzentrationsmanagement, das Management der chemischen Verdünnung und die Überwachung des Recyclings von Reinstwasser während verschiedener Prozesse. Sensor mit ausgezeichneter chemischer Beständigkeit Der Sensor verwendet einen chemisch resistenten zweipoligen Durchfluss-Kohlenstoffsensor, der mit einer breiten Palette von Chemikalien kompatibel ist, die in Halbleiterreinigungsprozessen verwendet werden. Frei von Metallverunreinigungen Durch die Verwendung eines speziellen Kohlenstoffmaterials als Elektrode besteht keine Gefahr von Metallverunreinigungen. Weitreichend kompatibel Kann bis zu einem Maximum von 1000 μS/cm messen (Messbereich der Leitfähigkeit vor Temperaturkompensation). Funktion zur Umrechnung von Konzentrationen Die Konzentrationsumrechnung ist möglich, indem die Beziehung zwischen chemischer Konzentration und Leitfähigkeit zusammen mit den Temperaturmerkmalen eingegeben wird. Sie eignet sich besonders für das Verdünnungsmanagement von niedrig konzentrierten Chemikalien.