Das MOCVD-Verfahren (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) findet breite Anwendung bei der Herstellung von LEDs, optischen Geräten und anderen Komponenten. Flüssige und feste Ausgangsstoffe werden der Reaktionskammer zugeführt, indem die Temperatur, der Druck und die Durchflussmenge des Trägergases geregelt werden (Bubbling-Methode). Die Inline-Geräte der Serie IR-300 messen und melden die Konzentration der Ausgangsstoffe in Echtzeit und bieten dem Anwender folgende Vorteile
Optimierung der Prozesssteuerung zur Herstellung hochwertigerer Bauteile
Verbesserung der Geräteausbeute und Reduzierung des Ausschusses
Verbesserung der Reproduzierbarkeit
Wissen, wann ein Bubbler ausgetauscht werden muss
MTTA verlängern
Reduzieren Sie ungeplante Eingriffe
Verringerung des Abfalls wertvoller Vorprodukte
Überwachung in Echtzeit
Schnelles Ansprechen und hervorragende Wiederholbarkeit ermöglichen die Verfolgung von Änderungen der Dampfkonzentration in Echtzeit
Multi-Kalibrierungskurven-Funktion (optional)
Ermöglicht die Konzentrationsmessung von bis zu 3 Chemikalien oder Bereichen
Multi-Display-Funktion
Die Multi-Display-Funktion auf der Oberseite des IR-300 ermöglicht dem Benutzer eine Vor-Ort-Kontrolle der Konzentrationsüberwachung und des Status der Vorläuferspeiseleitung
Kommunikationsfunktion
Anschlussmöglichkeiten über DeviceNet™, RS485 und analoge Kommunikation
Einfaches, kompaktes Design
Das kompakte und montagefreie Design des Geräts mit einer Frontfläche von 124 mm ermöglicht eine einfache Integration
Eine hohe optische Intensität und eine langlebige Lichtquelle in Kombination mit einer Hochgeschwindigkeits-Signalverarbeitung ermöglichen der IR-300-Serie schnellere und wiederholbare Reaktionen auf Änderungen der Vorläuferkonzentration. Dank dieser Merkmale erhält der Benutzer durch die Inline-Konzentrationsmessung in Echtzeit ein echtes Verständnis für den aktuellen Prozess.
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