Ausstoß-Überwachungsgerät ohne Kontakt IR-400

Das IR-400 bietet eine Echtzeit-Überwachung des Endpunkts der Kammerreinigung während des Abscheidungsprozesses. Durch die Optimierung des Reinigungsprozesses reduziert das IR-400 die Reinigungszeit und den Gasverbrauch. Diese Reduzierung des Reinigungsgasverbrauchs führt zu einer Verringerung der Kammerschäden und erhöht die Lebensdauer aller Systemkomponenten. Multigasüberwachung (unterstützt SiF4 undCF4) (IR-422) Hohe Empfindlichkeit Heizfunktion der Gaszelle bis zu 180 dec.C Mehrfach-Anzeige Analog/Digital-Kommunikation. Vorteile der Echtzeit-Endpunktüberwachung mit dem IR-400 Reduzieren Sie die Zeit für die Kammerreinigung Geringerer Verbrauch von Reinigungsgasen Wiederholbarer und vorhersehbarer Reinigungsprozess Längere Lebensdauer der Kammerkomponenten Zuverlässig, hochleistungsfähig Nicht-dispersive Infrarot-Absorptiometrie (NDIR) Das Infrarot-Absorptionsmessverfahren der Serie IR-300 beruht auf dem Prinzip der Absorption des von einer Infrarotlichtquelle ausgesandten Infrarotlichts durch Gasmoleküle. Ein Messwert einer Probe, die das zu messende Gas absorbiert hat, wird mit einem Referenzwert ohne Absorption verglichen, und das Ergebnis wird in eine Gaskonzentration umgerechnet. Durch die Verwendung dieses Zweistrahlverfahrens lassen sich langzeitstabile Messergebnisse erzielen. Das optische System besteht aus einer Lichtquelle, einer Gaszelle und Doppelstrahldetektoren. Die Stabilität des Doppelstrahldetektors hat sich über einen Zeitraum von mehr als 40 Jahren bewährt.