Ein hocheffizienter Flüssigkeitsverdampfer mit Strömungskanälen und Heizelementen, die in einen Aluminiumgussblock eingebettet sind, der eine maximale Wärmeübertragung gewährleistet und sowohl kalte Stellen als auch das Risiko der Kondensation ausschließt. Dieses Liquid Source Vaporization Control System kann bei bis zu 300 °C arbeiten und bis zu 30 g/min IPA (oder gleichwertig) verdampfen.
Merkmale
Innovatives Design maximiert die Verdampfungsrate
Die neue Injektordüse gewährleistet eine gleichmäßige Flüssigkeitseinspritzung, die zu einer stabilen Dampfkonzentration beiträgt
Vollständig aus Edelstahl gefertigter Durchflussweg für maximale Korrosionsbeständigkeit und minimale Partikelbildung
Kompatibel mit vielen Arten von Vorläufermaterialien.
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