Thermoverdampfer LSC

Prozessfür Flüssigkeiten

Das meistverkaufte Backsystem von HORIBA wurde entwickelt, um den Anforderungen der heutigen Hochtechnologiebranche gerecht zu werden. Ohne die Notwendigkeit eines Trägergases kann das System eine stabile Verdampfung von Materialien wie TEOS (mit einer Rate von 600 SCCM) und H2O (mit einer Rate von 2 SLM) gewährleisten. Um den Zugang zu erleichtern, können alle Wartungsarbeiten an der Vorderseite des Geräts durchgeführt werden. Merkmale Vergasung mit hoher Durchflussrate Der LSC-A100 ermöglicht eine stabile Vergasung von Materialien wie TEOS 600SCCM und H2O 2SLM Alle Wartungsarbeiten können an der Vorderseite des Geräts durchgeführt werden Ein optionaler PDA vom Typ PocketPC kann zur Überwachung der Betriebsbedingungen des LSC sowie zur Aufzeichnung und Analyse von Betriebsprotokollen verwendet werden.