Durchfluss-Druckcontroller EC-5000

Durchfluss-Druckcontroller - EC-5000  - HORIBA STEC
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Eigenschaften

Anwendung
Durchfluss

Beschreibung

Der Abgasdruckregler der Serie EC-5000 kann einen konstanten, vom Benutzer gewählten Druck in der Kammer aufrechterhalten. Der hochauflösende Schrittmotor und das einzigartige Drosselventil sorgen für eine schnelle, sensible Reaktion auf Druckänderungen. Geeignet für Hochvakuum: Gehäuse aus rostfreiem Stahl Korrosionsbeständig: Modelle mit PTFE-Gehäuse sind ebenfalls erhältlich RoHS-konform. Wenn der Abluftdurchsatz optimal eingestellt ist: Der Lack wird in einem gleichmäßigen Film verteilt Die sekundäre Ablagerung des Nebels wird verhindert Die Diffusion von gefährlichen Dämpfen wird verhindert. Die Empfindlichkeit ändert sich weniger durch die Ansammlung von Resist und anderen Verunreinigungen als bei der Durchflusssensorsteuerung, und der Einfluss von Turbulenzen und anderen Geräuschen wird eliminiert, was eine hervorragende, stabile und reaktionsschnelle Steuerung ermöglicht.

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.