Die VC-Serie ist in der Lage, reines Wasser oder andere flüssige Quellen ohne Trägergas schnell zu verdampfen, wodurch Sie ein kompakteres Verdampfungssystem aufbauen können.
HORIBA kann Ihnen ein maßgeschneidertes Verdampfungssystem liefern, das aus dieser VC-Serie und allen anderen benötigten Komponenten besteht:
Einem Flüssigkeits-Massedurchflussmesser für die Messung der Durchflussmenge,
Einem Hochtemperatur-Massendurchflussregler für die Messung des Dampfdurchsatzes,
Ventile, Filter, Heizungen, etc.
Merkmale
Kompakte Größe
Kann in einer Vielzahl von Positionen installiert werden
Meistverkaufte Modelle der TEOS-Verdampfungsanlage
Kombiniert SEF oder LF, und digitale Steuerung ist möglich
Kein spezieller Sprudeltank oder Verdampfungstank erforderlich
Reihe von DeviceNetTM-Modellen
RoHS-Konformität.
Erzeugte Durchflussrate*1 (während der TEOS-Erzeugung)
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Max. 5.0 CCM-Umwandlung (Flüssigphasenumwandlung)
Unterstützte Flüssigkeiten
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TEOS, P(OCH3)3, C6F6
Temperaturanstieg
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Max. 150°C
Erzeugter Druck*1
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Reduzierter Druck
Integrität des externen Lecks
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1.0x10-8Pa-m3/s
Interne Leck-Integrität
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1.0x10-6Pa-m3/s
Benetzte Matelar
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316L Edelstahl (polierte Oberfläche)
Internes Heizvolumen
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AC 100V bis 120V 70W(35Wx2)
Verwendeter Temperatursensor
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Thermoelement Typ K (CA)
Druckwiderstand
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1.0MPa(G)
Standard Fitting
Flüssigkeitseinlass: 1/8 Zoll VCR-Außengewinde Gasauslass: 1/4 Zoll VCR-Innengewinde
*1 Variiert je nach Art der Flüssigkeit.
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*CCM ist ein Symbol, das die Gasdurchflussrate angibt (mL/min bei 25°C, 101,3 kPa).
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