Bei den Serien LF-F und LV-F handelt es sich um digitale Massendurchflussregler für Flüssigkeiten, die mit einem Peltier-Element arbeiten, das die Flüssigkeit kühlt, anstatt die übliche Methode der thermischen Erwärmung anzuwenden. Diese Technik beseitigt das Risiko des Siedens von Chemikalien mit niedrigem Siedepunkt und ermöglicht so eine bessere Kontrolle der Chemikalien.
Kontrolle der Durchflussmenge von Mikrolitern bis hin zu extrem niedrigen Werten
Ermöglicht eine präzise Durchflusskontrolle von Flüssigkeiten mit niedrigem Siedepunkt und hoher Viskosität
Ultra sauber.
Messtechniken
Kühlende Messmethode
Die Durchflusssensoren in diesen Massendurchflussreglern für Flüssigkeiten bestehen aus einem elektronischen Kühlelement (Peltier-Element), das mit einem Kapillarrohr in Kontakt steht, sowie aus mehreren Temperaturerfassungselementen. Wenn die Flüssigkeit fließt, erfasst der Sensor den der Durchflussmenge entsprechenden Temperaturanstieg (ΔT) und zeigt ihn als Durchflussmenge an. Im Gegensatz zu Methoden, bei denen Wärme zugeführt wird, ermöglicht diese Kühlmethode die Durchflussmessung von Flüssigkeiten mit niedrigen Siedepunkten. Sie verhindert auch Probleme mit Störungen durch den Einfluss von Sekundäraustritten (Verdampfung) und ermöglicht genaue Durchflussmessungen.
Aufbau/Arbeitsprinzip
Die Massendurchflussmesser der Serien LV-F und LF-F arbeiten nach dem gleichen Messprinzip. Der LV-F verfügt zusätzlich über ein Piezo-Aktuatorventil und einen internen Vergleichsregelkreis. Diese vergleichen das Durchflusseinstellsignal und das Durchflussausgangssignal und steuern die Ventilöffnung automatisch so, dass die beiden Signale zur Regelung der Flüssigkeit übereinstimmen. Da ein Rückkopplungsregelungssystem verwendet wird, gibt es keine Schwankungen der Durchflussmenge aufgrund externer Faktoren, so dass eine stabile und genaue Regelung möglich ist.
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