Digitaler Sensor für gelösten Sauerstoff HD-960LR

Prozess

Erweiterung der Kompatibilität mit Chemikalien und Beitrag zu einer höheren Ausbeute bei der Halbleiterherstellung HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. hat den HD-960LR, einen neuen Monitor für gelösten Sauerstoff für Hersteller von Halbleitern und Halbleiterproduktionsanlagen, entwickelt und am 1. Juli 2021 mit dem Verkauf begonnen. Die jüngste Miniaturisierung und verbesserte Leistung von Halbleitern führt zu einer Vielzahl von Chemikalien, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet werden und die alle ein angemessenes Management erfordern. Dieser neue Monitor für gelösten Sauerstoff überwacht kontinuierlich und mit hoher Genauigkeit den Gehalt an gelöstem Sauerstoff von Chemikalien im Halbleiterherstellungsprozess. Durch den Zusatz eines neuen internen Sensormechanismus kann der Abbau von Elektrolyten unterdrückt werden und die Kompatibilität mit Ammoniakwasser und bestimmten organischen Lösungsmitteln wird sogar erweitert. Darüber hinaus wurde durch die Einführung dieses neuen Mechanismus der branchenweit führende Sensor-Austauschzyklus von etwa einem Jahr realisiert. Der HD-960LR verlängert die Lebensdauer des Sensors im Vergleich zu unseren herkömmlichen Produkten um das 1,3-fache bei Reinstwasser und um das 70-fache bei Ammoniakwasser. Ein längeres Intervall zwischen den Sensorwechseln trägt zur Steigerung der betrieblichen Effizienz bei. Die HORIBA-Gruppe wird auch weiterhin auf die vielfältigen Kundenbedürfnisse eingehen, um zu einer höheren Ausbeute in der Halbleiterfertigung beizutragen. Selbst Verunreinigungen im Nanometerbereich können bei der Halbleiterherstellung zu Fehlfunktionen führen.