Spektroskopischer Ellipsometer

HORIBA Scientific’s in-situ, in-line und Ellipsometer für großflächige Anwendungen sind für die Prozesskontrolle in der Industrie und Forschung konzipiert. Egal ob in-situ Schichtdicken, große Flächen auf Homogenität oder in-line die Zusammensetzung bestimmt werden soll - wir bieten vielfältige Lösungen zur Qualitätskontrolle dünner Schichten. In-Line-Messtechnik In-Situ-Ellipsometer erlauben die Echtzeitkontrolle von Beschichtungs-, Wachstums- und Ätzprozessen mit einer Sub-Monolagen-Auflösung. Es lassen sich kontinuierlich Schichtdicken, Zusammensetzungen und optische Eigenschaften bestimmen. Dünnschichtmetrologieplattform für die FPD- und Photovoltaikindustrie Metrologiesysteme für großflächige Proben integrieren Sensoren wie beispielsweise Ellipsometer oder Reflektometer in eine angepasste Probenhandlingsplattform.