Automatisches Probenvorbereitungssystem IM4000 II

für SEMIonenstrahlätzenKühlung

IM4000 II ist ein modulares computergesteuertes Argon-Ionen-Poliersystem, das je nach gewünschter Funktionalität als reiner Oberflächenpolierer, als Querschnittspolierer oder als Hybridsystem ausgerüstet werden kann. Mit einer in 100eV-Schritten wählbaren Strahlenergie von 0,1keV bis 6,0keV kann ein breiter Anwendungsbereich abgedeckt werden, von feinsten Polituren bis hin zu größeren Querschliffen. Im Querschnittsbetrieb erreicht der IM4000 II eine maximale Abtragsrate in Si von 500µm/Stunde (6keV, Überstand über die Maskenkante 100µm, Tischoszillation ±30°). Funktionen wie Auto-Start/Zeitvorwahl, Intervall-Polieren oder zweistufige Prozesse sind verfügbar. Der IM4000 II-CTC bietet die Möglichkeit, Prozesstemperaturen bis zu -100°C im Querschnittsbetrieb zu verarbeiten. Produktmerkmale: - Einfache, robuste und wartungsfreundliche Penning-Ionenkanone mit unabhängiger Steuerung von Strahlstrom und Beschleunigungsspannung. Ermöglicht intensive Ionenstrahlen bei allen Beschleunigungsspannungen (0-6kV) - Querschnittsbearbeitungstiefe in Si mit 100µm Überstand über der Maske, Tischschwingung +/-30°, beträgt 500µm pro Stunde oder mehr - Oberflächenpolitur kann bei Neigungswinkeln von 0° bis 90° durchgeführt werden, Winkel kann während des Prozesses geändert werden - Große Probenkammer mit einem an der Kammertür befestigten, voll ausfahrbaren Mehrachsentisch zur Aufnahme der verschiedenen Anwendungsmodule