Automatisches Probenvorbereitungssystem IM4000II

für SEMIonenstrahlätzenKühlung

Das IM4000II unterstützt sowohl das Querschnittsfräsen als auch das Flachfräsen zur Vorbereitung von Proben je nach Zweck. Kühltemperaturregelung, Luftschutzhalterung und verschiedene Optionen ermöglichen die Vorbereitung verschiedener Querschnittsproben. Hohe Fräsgeschwindigkeit Die Querschnittsfräsrate*1 des IM4000II beträgt 500 µm/h oder mehr. Sie eignet sich für harte Materialien, die normalerweise eine längere Bearbeitung erfordern. Wenn sich der Schwenkwinkel während des Querschnittsfräsens ändert, ändern sich auch die entsprechende Bearbeitungsbreite und -tiefe. Die Abbildung unten zeigt die SEM-Bilder eines Si-Wafers nach dem Querschnittsfräsen. Die Bearbeitungsbedingungen sind dieselben wie oben dargestellt, außer dass der Schwenkwinkel von ±30˚ auf ±15˚ reduziert wurde. Es zeigt sich, dass die Bearbeitungstiefe tiefer ist als die obigen Ergebnisse und daher sehr effektiv für die schnelle Querschliffpräparation von Proben mit einer Zielstruktur, die weit von der oberen Oberfläche entfernt ist. Hybrid-Fräsen Querschnittsfräsen Eine makellose Oberfläche kann durch Sputtern (Fräsen) hervorstehender Teile der Probe, die über den Maskenrand hinausragen, erzielt werden. Durch die Bestrahlung des Ionenstrahls parallel zur bearbeiteten Oberfläche der Probe ist ein ebenes und glattes Fräsen auch bei komplexen Materialien unterschiedlicher Zusammensetzung möglich.