Feldemissions-Rasterelektronen-Mikroskop SU8600

für Analyse3Dmit kalter Feldemission

Das SU8600 läutet eine neue Ära der ultrahochauflösenden Kaltfeld-Emissions-Rasterelektronenmikroskope in der langjährigen Hitachi EM-Produktpalette ein. Diese revolutionäre CFE-SEM-Plattform bietet vielseitige Bildgebung, Automatisierung, erhöhte Systemstabilität, effiziente Arbeitsabläufe für Anwender aller Erfahrungsstufen und vieles mehr. Ultrahochauflösend Die hochbrillante Kaltfeld-Emissionsquelle von Hitachi liefert ultrahochauflösende Bilder selbst bei extrem niedrigen Spannungen. Links: Zeolithpartikel vom Typ RHO bei niedriger kV. Um die feine Stufenstruktur auf der Oberfläche zu erkennen, wurde das Bild bei einer Landespannung von 0,8 kV aufgenommen. Dadurch wird die sehr feine Struktur der Oberflächenstufen deutlich sichtbar (Bild rechts). Ein intelligentes Detektionssystem für die BSE-Bildgebung bei niedriger Spannung Querschnittsbild eines 3D-NAND; Die Oxidschicht und die Nitridschicht des Kondensators sind dank der BSE-Detektionsfähigkeit im Bild leicht zu erkennen. Schnelles BSE-Imaging: Neue Out-Column Crystal Type BSED (OCD) Durch den Einsatz der neuen Out-Column Crystal Type BSED (OCD)* war die Bildaufnahmezeit kürzer als EINE SEKUNDE, und dennoch sind die unteren Verbindungsschichten und die Fin-FET-Struktur des SRAM deutlich sichtbar. Verbesserte Benutzerfreundlichkeit durch fortschrittliche Automatisierung Mit der Software-Option EM Flow Creator" können Benutzer wiederholbare SEM-Betriebsabläufe konfigurieren. Verschiedene SEM-Funktionen können im EM Flow Creator-Fenster per Drag-and-Drop zusammengestellt und dann als Rezept zur späteren Verwendung gespeichert werden. Sobald ein Rezept konfiguriert ist, kann die automatische Datenerfassung unter den festgelegten Bedingungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit durchgeführt werden. Flexible Schnittstelle Die Doppelmonitor-Konfiguration unterstützt einen flexiblen und hocheffizienten Arbeitsbereich.