Automatisches Probenvorbereitungssystem ZoneSEM Ⅱ

für Laboranwendungenfür SEMReinigung

REM- und STEM-/TEM-Anwender kennen das Problem: Die hochauflösende Bildgebung wird oft durch den schnellen Aufbau eines Kohlenstofffilms im Beobachtungsbereich beeinträchtigt (wenn nicht gar unmöglich gemacht). Dies wird in der Regel durch gasförmige Kohlenwasserstoffe verursacht, die sich während der Beobachtung durch den Energietransfer des Elektronenstrahls kontinuierlich ablagern. Die Quelle dieser Kohlenwasserstoffe kann ein nicht optimales Kammervakuum sein, das in der Regel mit Plasmareinigern mit hohem Energieeintrag oder schonender mit der Excimer-Lichtquelle "Sparkle" von Hitachi verbessert werden kann. In den meisten Fällen sind jedoch die Beobachtungsobjekte und Probenhalter selbst die Hauptquelle der Verunreinigung. Hier erweist sich die Plasmabehandlung oft als zu grob im Sinne einer Veränderung oder gar Zerstörung der Probe. Hitachis ZONE-Reiniger für REM und TEM bieten eine schonende, clevere Alternative auf der Basis von ultraviolettem Licht und freien Sauerstoffradikalen: schnelle und gründliche Entfernung von störenden Kohlenwasserstoffen bei deutlich geringerem Energieaufwand als bei Plasmareinigern. Die Probenreiniger der ZONE-Produktfamilie sind mit UV-Lampen der Wellenlängen 185nm und 254nm ausgestattet, die typische Kohlenwasserstoffbindungen angreifen, Sauerstoffmoleküle aufbrechen und reaktive Komponenten in Form von Ozon erzeugen. Die integrierte Membranpumpe erzeugt ein einstellbares moderates Vakuum zwischen 13 und 67 kPa. Mit dem Kammerdruck lässt sich der Reinigungsmechanismus je nach Art der Probe zwischen einer eher oxidativen oder eher physikalischen Reinigung optimieren. Produktmerkmale: - Für Proben bis zu 100 mm Ø und 37 mm Höhe - Reinigungs- und Speicherfunktion - Rezeptur-Speicher - Typische Prozesszeiten 5-15 Minuten