Fokussiertes Ionen Strahl System NX5000

Die NX5000 "ETHOS" FIB-SEM-Plattform zielt auf fortschrittliche positionsgenaue Anwendungen in den Bereichen der automatisierten Herstellung von ultrafeinen TEM-Lamellen für aberrationskorrigierte TEM/STEM, hochauflösende Multi-Signal-SEM-Untersuchungen von seriellen Probenschnitten und Fabrikationsanwendungen. Produktmerkmale: - Hochauflösendes FE-SEM mit Kalt- oder Schottky-Feldemitter und doppelter elektrostatisch-magnetischer Objektivlinse: magnetischer Immersionsmodus für hochauflösende Bildgebung, magnetfeldfreier Modus für gleichzeitigen FIB-Betrieb - Ga+ FIB-Säule mit bis zu 100nA Ionenstrom und guten Nieder-kV-Eigenschaften für schnelle FIB-Schnitte und beschädigungsarme TEM-Lamellenoberflächen - Große Probenkammer mit 155x155mm2 Probentisch und vielen Zugängen für optionales Zubehör. Eine Luftschleuse für Proben mit 150 mm Durchmesser und Inertgasübertragung ("air protection") ist möglich - Detektorsystem mit 3 In-Column-Detektoren (2x Backscatter, 1x SE) und Kammer-SE-Detektor. Alle 4 Signale können gleichzeitig aufgezeichnet und angezeigt werden