Automatisches Probenvorbereitungssystem ArBlade 5000 / IM5000-CTC

für SEMIonenstrahlätzenKühlung

ArBlade 5000 / IM5000 erweitert die Querschnittsfähigkeiten der IM4000 II-Serie um die Möglichkeit, Querschnitte je nach Bedarf auf eine Breite von bis zu 10 mm zu erweitern. Dazu wird die Probe während des Querschneidens im zuvor erfassten Bearbeitungsbereich periodisch seitlich verschoben und bleibt dabei im optimalen Fokus. Optional ist auch die sequenzielle Bearbeitung mehrerer Einzelpositionen möglich; der optionale Mehrfachprobenhalter erlaubt die automatische Bearbeitung von bis zu 3 Proben. Das ArBlade 5000 / IM5000 ist mit einer leistungsfähigeren Ionenkanone ausgestattet, die eine Abtragsleistung von über 1mm pro Stunde ermöglicht. Mit dem ArBlade 5000-CTC sind auch Kryoquerschnitte mit variabler Breite bei definierbaren Prozesstemperaturen bis -100 °C möglich. Produktmerkmale: - Einfache, robuste und wartungsfreundliche Penningtype-Ionenkanone mit unabhängiger Steuerung von Strahlstrom und Beschleunigungsspannung. Ermöglicht intensive Ionenstrahlen bei allen Beschleunigungsspannungen (0-8kV) - Querschnittsbreiten können durch periodisches Bewegen der Probe relativ zum Ionenstrahl flexibel gewählt werden, von 1 mm bis 10 mm Breite - Querschnittsbearbeitungstiefe in Si mit 100µm Überstand über der Maske, Tischoszillation +/-30°, beträgt 1000µm pro Stunde oder mehr - Die Oberflächenpolitur kann bei Neigungswinkeln von 0° bis 90° durchgeführt werden, der Winkel kann während des Prozesses geändert werden