Doppelbrechungs-Messsystem Exicor® 500 AT

3DTeile

Der Exicor 500AT ist das völlig neue Rahmendesign, das die Exicor 450AT-Systeme ersetzt. Dieser neue "Heavy Lifter" der Exicor®-Doppelbrechungsmesssystem-Familie bietet eine neue Effizienz und verbesserte Robustheit, um noch größere und zahlreichere Proben aufzunehmen. Dieses Modell ist ideal für die Messung dicker Linsenrohlinge für Lithografieanwendungen sowie anderer großer und schwerer Teile (bis zu 500 mm x 500 mm und 400+ mm dick). Der 500AT basiert auf den bewährten Rahmen- und Bewegungssteuerungskomponenten, die das Markenzeichen der Exicor 450AT-Systeme von Hinds Instruments sind. Das neue Design verfügt über einen vollständig nach vorne gerichteten, leicht zugänglichen Tisch, der es ermöglicht, dass der Probenmessbereich alle potenziellen Hindernisse auf drei Seiten und oberhalb der Probe vollständig überwindet. Der größere Tisch ermöglicht auch das gleichzeitige Laden mehrerer Teile für Batch-Scanning-Anwendungen und bietet einen besseren Zugang für Anwendungen zur Integration in die Fertigungsstraße. Durch Hinzufügen der optionalen Exicor Zones™ Software zum 500AT kann das System so eingerichtet werden, dass automatische Routinen ausgeführt werden, um jedes Teil einzeln zu scannen und jeder "Zone" individuelle Dateinamen zuzuweisen. Mit dieser Software kann der Benutzer die Routine starten und sie über mehrere Schichten, über Nacht oder sogar länger (je nach Anwendung) laufen lassen, ohne eingreifen zu müssen. Mit den zwei zur Auswahl stehenden Messbereichsoptionen (hohe Empfindlichkeit und erweiterter Bereich) ist das System bestens geeignet, um die anspruchsvollen Anforderungen Ihrer großen Proben zu erfüllen. Das optionale Hochgeschwindigkeits-Scanpaket ermöglicht Scans mit hoher räumlicher Auflösung (<1 mm Rasterabstand). Merkmale: Hochbelastbarer automatisierter XY-Tisch grafische 2D- und 3D-Darstellung der Doppelbrechungsparameter