Langmuir-Sonde ESPion

für Plasmapotentialfür Spektrometerautomatisch

Eine fortschrittliche Langmuir-Sonde für die Plasmadiagnostik Die routinemäßige Überwachung der I-U-Plasmacharakteristik mit der Hiden ESPion-Sonde liefert direkte Informationen über die Plasmastabilität und Reproduzierbarkeit. Die automatische Echtzeit-Extrapolation von Plasmaparametern liefert detaillierte Informationen über die Plasmaeigenschaften, die für die Charakterisierung und die Überwachung der Homogenität verwendet werden können. Plasma-Charakterisierung Plasma-Ätzen und ALE HiPIMS Diamantähnliche Kohlenstoff (DLC)-Beschichtung Gepulste Laserabscheidung (PLD) Beschichtungen DC-Magnetron-Beschichtung von SiBCN-Schichten Das ESPion-System verwendet Orbital Motion Limited (OML) und Allen Boyd Reynolds (ABR) als Standard-Plasmaanalysemodelle. Der automatische Z-Antrieb von Hiden sorgt für räumlich aufgelöste Messungen im gesamten Plasmavolumen. Die Standardoptionen für die Z-Antriebstranslation sind: 300, 600 und 900 mm. erfassungsrate von 15 Scans pro Sekunde mit D-O-E-Schnittstelle für automatische, halbautomatische oder manuelle Analysen Hiden ist Vorreiter bei der passiven RF-Kompensation ESPion hat die höchste Blockierungsimpedanz aller kommerziell erhältlichen Geräte 4.25MOhm bei 13,56 MHz gegenüber 100kOhm Gasgekühlte Multiinduktorkette für den Hochtemperatur-Plasmabetrieb Die gasgekühlte Multiinduktorkette ist für die Abstimmung auf andere Frequenzen austauschbar Referenzsonde kompensiert niederfrequente Effekte z.B. Verschiebung des Plasmapotentials (z.B. anodisierte Kammerwände) oder Rauschen (z.B. Stromversorgung) ESPion die schnellsten gepulsten Plasmaspezifikationen aller kommerziellen Sonden ESPionSoft enthält standardmäßig alle notwendigen Schaltungen für die Ansteuerung 300, 600 oder 915 mm automatischer Linearantrieb als Option Verriegeltes Absperrventil, 90°-Sonden, kombinierte Linear- und Rotationsantriebe als Optionen verfügbar Selbstreinigungszyklus zur Begrenzung der Kontamination der Sondenspitze