Ionenquelle für Massenspektrometer IG20

Eine 5keV-Argon- oder -Sauerstoff-Ionenquelle für UHV-Oberflächenanalyseanwendungen Das IG20 verfügt über eine helle Elektronenstoß-Gas-Ionenquelle, die speziell für Sauerstoff entwickelt wurde, aber auch für den Einsatz mit Inert- und anderen Gasen geeignet ist. Dünne Schichten Optische Beschichtung Elektronische Materialien Nukleare Materialien Das IG20 ist als primärer Ionenstrahl für SIMS-, Auger- und XPS-Anwendungen zur Bildgebung und Tiefenprofilierung konzipiert. Durch den intern erzeugten Rasterscan und die große Auswahl an Betriebsparametern eignet es sich jedoch auch für die Probenreinigung und für oberflächenwissenschaftliche Experimente. Zwei vom Benutzer auswechselbare Filamente gewährleisten einen kontinuierlichen Betrieb im Falle eines durchgebrannten Filaments, das der Benutzer nach Belieben austauschen kann. Intensiver Ionenstrahl mit 100 µm Spotgröße und Energien von 0,5 - 5 keV Hohe Stromdichte, bis zu 4,5 mA/cm2 Elektronenstoß-Ionenquelle mit der Möglichkeit, Argon und Sauerstoff zu verwenden Lenkungsoptik für Linienstreuung und Strahlrasterung bei der Tiefenprofilierung 3° Offset in der Ionenkanonensäule für optimale Unterdrückung von Neutralen Strahlaustasteinrichtung für schnelle Strahlumschaltung bei Rasterungsanwendungen Differentialpumpen der Quelle für eine geringere Gasbelastung der Kammer Leicht austauschbare Doppelfilament-Baugruppe Durchlaufgeschwindigkeiten bis zu 64 µs Integrierter Betrieb mit SIM- und EQS-Sonden für direkte Rasterraten-/Flächensteuerung