Vierpolige Spektrometer MAXIM

Sekundärionen-Massenzur Analyse

Ein System für statische und dynamische SIMS- und SNMS-Anwendungen Das Hiden MAXIM Vierfach-SIMS-Analysegerät ist ein hochmodernes Sekundärionen-Massenspektrometer für positive und negative, statische, dynamische und neutrale analytische Anwendungen. Das MAXIM-Analysesystem umfasst einen integrierten Energiefilter für die Ionenakzeptanz in einem Winkel von 30° zur Sondenachse, eine SIMS-Extraktionsoptik mit hoher Transmission, einen Dreifach-Massenfilter, einen Impulsionenzählungsdetektor und eine Steuerelektronik. Der 30°-Akzeptanzwinkel ermöglicht es, das MAXIM so zu montieren, dass seine Achse parallel zur Probenebene verläuft, so dass für andere Licht- oder Ionenoptiken eine freie Sicht auf den beprobten Bereich bleibt. Das MAXIM ist unempfindlich gegenüber Probenaufladungen, was es zu einer idealen Sonde für die Analyse von Isolatoren macht. Außerdem ermöglicht der große Akzeptanzwinkel die Abbildung eines großen Bereichs. Optionen für den Massenbereich: 300amu, 500amu oder 1000amu Detektor: Ionenzählungsdetektor, Erkennung positiver und negativer Ionen, 107 cps Massenfilter: Dreifach-Filter Poldurchmesser: 9mm Ausheizen: 250°C Ionenenergie-Filter: 30° Winkelannahme Ionisator: Elektronenbeschuss, Einzelfilament für SNMS und RGA