Massenspektrometer XBS

vierpoligschnellDatenerfassung

Ein System zur Überwachung mehrerer Quellen bei MBE-Beschichtungsanwendungen Molekularstrahlquellen erfordern eine genaue Kontrolle für ein reproduzierbares Dünnschichtwachstum in Produktionsqualität. Das XBS-System (Cross Beam Source) von Hiden ermöglicht die In-situ-Überwachung mehrerer Quellen mit Echtzeit-Signalausgabe zur präzisen Steuerung der Abscheidung. Das XBS von Hiden ist ein hervorragendes Werkzeug für die Molekularstrahl-Massenspektrometrie. MBE-Überwachung und -Steuerung Molekularstrahl-Studien Analyse von Mehrfachstrahlquellen Hochleistungs-RGA Desorption Studien zur Ausgasung Bakeout-Zyklen Prozessgas-Verunreinigungen Das Hiden XBS RC-System ist ein Quadrupol-Massenspektrometer, das für die gleichzeitige Überwachung mehrerer Strahlenquellen ausgelegt ist und einen einzigartigen Strahleneinlass durch einen 70°-Kegel quer zur Quadrupolachse bietet. Die Strahlannahmeöffnungen werden individuell für jede spezifische Prozesskammer-Quellenposition konfiguriert und als austauschbare Steckelemente hergestellt, um eine nachträgliche Modifikation im Falle einer Kammeränderung zu ermöglichen. Die hohe Empfindlichkeit und die schnelle Datenerfassung des XBS-Systems liefern Signale für die Kontrolle von Wachstumsraten ab 0,01 Angström pro Sekunde. Hohe Empfindlichkeit, verbesserte Detektion von 100% bis 5ppb, Massenbereich bis 510 amu Verbesserte Langzeitstabilität (weniger als ±0,5% Höhenschwankung über 24 h) Crossbeam-Ionenquelle, Strahlannahme um +/- 35° zur Querachse Ionenquellensteuerung für weiche Ionisierung und Erscheinungspotential-Massenspektrometrie Erhöhte Empfindlichkeit für hohe Massentransmission, automatische Ausrichtung der Massenskala 2 mm Strahlenakzeptanzöffnung - konfiguriert für die spezifische Anwendung des Benutzers Erhöhte Kontaminationsresistenz durch die reine RF-Vorfilterstufe