Für die routinemäßige Vakuumüberwachung
Die iRGA-Software ist eine neue und intuitive Anwendung für die routinemäßige Vakuumüberwachung. Sie ist so konzipiert, dass sie einfach und automatisch funktioniert.
Restgasanalyse & Vakuumverarbeitung
CVD / MOCVD / ALD
Die neue und intuitive iRGA-Software dient der routinemäßigen Vakuumüberwachung und ist einfach und automatisch aufgebaut. Sie liefert automatisch Partialdruckdaten für die üblichen Restgase und Dämpfe, einschließlich Wasserstoff, Helium, Wasser, Stickstoff, Sauerstoff, Argon und ein benutzerdefiniertes Gas
Die Software enthält eine neue Tablettenansicht, bei der sich die Hintergrundfarbe je nach Alarmzustand ändert. Darüber hinaus verfügt die iRGA-Software über eine Alarmfunktion, mit der Alarme an interne E/A, Wi-Fi und per E-Mail gesendet werden können
Wahl der Druckeinheit: mbar, Torr, Pascal oder normierte Summe
Aktionsmodul für Alarme
Umfasst Trendansicht, Scan-, Lecksuch- und Wartungsmodi
Ausgabe von Auslösemeldungen per E-Mail an interne E/A (5 Ausgänge) und/oder an Wi-Fi-Geräte
Auto-Ranging: über 10 Dekaden dynamischer Bereich mit automatischer Umschaltung zwischen Faraday-Cup- und Elektronenmultiplikator-Detektoren
Schneller Lecksuchmodus mit Pfeil-nach-oben/nach-unten-Anzeige für zunehmende/abnehmende Leckrate
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