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Massenspektrometer HALO 201 MBEProzessÜberwachungGasanalyse
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Eigenschaften
- Typ
- Massen
- Bereich
- Prozess, Überwachung, Gasanalyse
Beschreibung
Ein Gasanalysesystem für Molekularstrahlepitaxieanwendungen
Die Hiden HALO-Systeme sind für RGA-, Gasanalyse- und Prozessüberwachungsanwendungen einschließlich Lecksuche, Trendanalyse und Vakuumüberwachung konzipiert.
Halbleiterproduktion
Brennstoffzellen
Der MBE-spezifische Analysator besteht aus kompatiblen Materialien und ist für den dauerhaften Einsatz in MBE-Umgebungen ausgelegt. Er verfügt standardmäßig über eine Molybdänverdrahtung anstelle von Kupfer und eine kontaminationsresistente Ionenquellenabschirmung.
Molybdänverdrahtung anstelle von Kupferverdrahtung zur Verlängerung der Lebensdauer des RGA-Systems in MBE-Umgebungen
Kontaminationsresistente Ionenquellenumhüllung
Dualer Faraday-/Kanalplatten-Elektronenvervielfacher
Minimaler nachweisbarer Partialdruck bis 2 x 10-13 mbar
Thermische Verlängerungsoption für den RGA-Betrieb während des Ausheizens
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.