Ein Restgasanalysator, konfiguriert für anspruchsvolle UHV-Anwendungen
Die Hiden RGA für UHV sind für die Restgasanalyse in anspruchsvollen UHV-Anwendungen konzipiert und konfiguriert, wo kritische Messungen bei UHV erforderlich sind.
Restgas-Analyse
Lecksuche
Desorption
Studien zur Ausgasung
Bakeout-Zyklen
Pumpenleistung
Prozessgas-Verunreinigungen
Der HAL 201 RC-Analysator umfasst standardmäßig vergoldete Versionen aller Ionenquellentypen. Die vergoldete Ionenquelle dient der Minimierung der Quellenausgasung und eignet sich für Anwendungen, bei denen der Gesamtdruck < 5 x 10-10 mbar beträgt.
EPICS ist die Standard-Instrumentensteuerungssoftware, die in vielen Lichtquellen auf der ganzen Welt verwendet wird, und das Hiden HAL-System ist vollständig mit EPICS-Softwaretreibern kompatibel.
Vergoldete Ionenquellen zur Minimierung der Quellenausgasung
Elektronenstoß-Ionisator mit doppeltem oxidbeschichtetem Iridium-Filament
Doppelter Faraday/Channeltron-Elektronenmultiplikator-Detektor
Minimaler nachweisbarer Partialdruck von 5 x 10-14 mbar
Maximaler Betriebsdruck von 1 x 10-4 mbar
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