Systeme zur Untersuchung von Bestandteilen, die in einem Gefäß vorhanden sind oder aus einem Prozess hervorgehen
Mit Partialdruckmessbereich von UHV bis zu 0,01 Pa (10-4 mbar).
Probenahmesysteme mit Differenzialpumpe erweitern den Probenahmedruckbereich für die Vakuumprozessüberwachung und bei Bedarf für Gasanalyseanwendungen.
Alle Restgasanalysatoren von Hiden sind anwendungsgeprüft und kalibriert, um höchste Qualität zu gewährleisten. Sie werden durch eine 3-Jahres-Garantie und einen lebenslangen Service-Support unterstützt.
Restgas-Analyse
Lecksuche
Desorption
Studien zur Ausgasung
Bakeout-Zyklen
Pumpenleistung
Prozessgas-Verunreinigungen
Optische Dünnschichtbeschichtung
Optionen für den Massenbereich: 50, 100, 200, 300 oder 510 amu.
Detektoroptionen bieten Empfindlichkeit für Hochvakuum bis Ultrahochvakuum (UHV).
Stabilität (weniger als ±0,5% Höhenschwankung über 24 h)
MASsoft-Steuerung über RS232, USB oder mehrere Systeme über Ethernet LAN
Schneller Zugriff auf Histogramm, Trendanalyse und analoge Spitzenwertanzeigen
Mixed-Mode-Scanning, z.B. Trend, Histogramm und analoge Peaks in mehreren Fenstern
Gleichzeitige Echtzeitanzeige von grafischen und tabellarischen Trendanalysedaten
Cursor für die Peakhöhenidentifizierung unter Mauskontrolle
Hintergrundsubtraktion in Echtzeit, automatische Ausrichtung der Massenskala
Datenexportmöglichkeit in das ASCII-Format und auf alle Windows-Geräte
netMASsoft, ein integrierter Webserver für den RGA-Betrieb über Ihren Webbrowser
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