Massenspektrometer HALO RGA

LaborGasanalyseDatenerfassung

Für die Restgasanalyse Ein Restgasanalysator für Vakuum-Fingerprint-Analyse, Lecksuche und Trendanalyse. Eine einfache, intuitive Software ermöglicht die Erfassung, Darstellung und Speicherung von Daten in Echtzeit. Restgas-Analyse Lecksuche Desorption Studien zur Ausgasung Bakeout-Zyklen Pumpenleistung Prozessgas-Verunreinigungen Optische Dünnschichtbeschichtung Restgasanalysatoren liefern eine Fülle zusätzlicher Informationen über den Zustand Ihres Vakuums, z. B. im Vergleich zu Gesamtdruckmessgeräten. Die Lecksuche kann mit jedem Suchgas durchgeführt werden, wobei Helium oder Argon in der Regel im Labor bevorzugt werden. Wasserdampf und Kohlenwasserstoffverunreinigungen lassen sich leicht erkennen. Die Spezifität, Geschwindigkeit und der dynamische Bereich machen Restgasanalysatoren zu einem der nützlichsten Messgeräte für die Vakuumdiagnostik. Die HALO RGA Restgasanalysatoren sind mit einem Massenbereich von 100, 200 oder 300 amu erhältlich, wobei der Faraday-Detektor eine Detektion bis zu 2×10-11 mbar und der duale Faraday-/Sekundärelektronenvervielfacher-Detektor (SEM) eine Detektion bis zu 2×10-13 mbar ermöglicht. Optionen für den Massenbereich 100, 200 und 300 amu Schneller Zugriff auf Histogramm, Trendanalyse und analoge Peak-Anzeigen Scannen im gemischten Modus, z. B. Trendanalyse, Histogramm und analoge Peaks in einer Mehrfensteranzeige Identifizierung von Vakuumspezies mit automatischer Analyse Gleichzeitige Echtzeitanzeige von grafischen und tabellarischen Trendanalysedaten Datenerfassung von mehreren Systemen über Ethernet Integrierte Massenspektrenbibliothek mit umfassenden Bearbeitungsmöglichkeiten Möglichkeit des Datenexports in das ASCII-Format.