Massenspektrometer HMT

vierpoligfür die Prozessüberwachung

Ein Dual-Mode-RGA-System für Vakuumdiagnostik und Prozessüberwachung Das Hiden HMT Quadrupol-Massenspektrometer ist ein einzigartiges Dual-Mode-RGA-System, das bei einem Druck von bis zu 5×10-3 mbar betrieben werden kann, ohne dass ein Differenzialpumpensystem erforderlich ist. Der Betrieb bei diesem Druck wird durch eine speziell entwickelte Ionenquelle/Quadrupolfilter-Kombination und eine Software erreicht, die die Nichtlinearität der Abundanz korrigiert. Die einzigartige Hochdruck-Spezifikation macht den HMT ideal für Prozessüberwachungsanwendungen. Restgasanalyse Vakuum-Verarbeitung Atmosphärennahe XPS, APXPS Optische Dünnschichtbeschichtung CVD / MOCVD / ALD Das HMT dient der Vakuumprozessanalyse und der Restgasanalyse und ist für die Überprüfung der Prozessbedingungen und die Prozessanalyse zur Erkennung unerwarteter Verunreinigungen unerlässlich. Das HMT-System kann auch im RGA-Modus wie ein herkömmlicher Quadrupol-RGA betrieben werden. Duale Faraday-/Elektronenmultiplikator-Detektoren bieten Partialdruckempfindlichkeiten im Bereich von 10-13 mbar. Typische Prozesse, die überwacht werden können, sind CVD, Ätzen, PECVD und PVD. Ein Prozess-RGA-Tool für die Fehlersuche und Überwachung. HMT-Modus für Hochdruckbetrieb bis 5×10-3 mbar (minimaler nachweisbarer Partialdruck 5×10-8 mbar) RGA-Modus für hochempfindlichen Betrieb bei P < 10-4 mbar (minimaler nachweisbarer Partialdruck 2 x 10-11 mbar) 100 amu Massenbereich, Remote (PC) Steuerschnittstelle über MASsoft Professional PC-Software 100 amu Massenbereich, Remote (PC) Steuerschnittstelle über MASsoft Professional PC Software Stabilität (weniger als ±1% Höhenschwankung über 24 h) MASsoft Software-Steuerung über RS232, USB oder mehrere Systeme über Ethernet LAN