Massenspektrometer HPR-30 series

Gasanalysemobil

Restgasanalysesysteme für die Vakuumprozessanalyse Die Systeme der Serie HPR-30 sind Restgasanalysesysteme, die für die Analyse von Gasen und Dämpfen in Vakuumprozessen und für die Vakuumdiagnostik konfiguriert sind und Probenahmen vom Hochvakuum bis zum atmosphärischen Druck ermöglichen. Die Systeme sind vollständig konfigurierbar für individuelle Prozessanwendungen wie CVD, ALD, Plasmaätzen, MOCVD, Prozessgasreinheit und prozessinterne Verunreinigungsüberwachung. Plasma-Charakterisierung Gefriertrocknung CVD / MOCVD / ALD Vakuum-Verarbeitung Restgas-Analyse Atmosphärennahe XPS, APXPS Optische Dünnschichtbeschichtung Die Systeme der Serie HPR-30 sind für die schnelle und hochempfindliche Analyse von Gasen und Dämpfen in Vakuumprozessen ausgelegt. Zu den Anwendungen gehören die Erkennung von Lecks, die Überwachung von Verunreinigungen, die Analyse von Prozesstrends und die Analyse von Spezies mit hoher Masse und von Vorläufersubstanzen, die z. B. bei ALD- und MOCVD-Anwendungen verwendet werden. Es werden folgende Probenahmekonfigurationen angeboten: Der HPR-30-Wagen mit doppeltem Leitwert-Probenahmeeinlass verfügt über eine eng gekoppelte, wieder eintretende Öffnung für die Probenahme direkt im Prozessbereich, die maximale Datenintegrität und eine schnelle Bestätigung des Prozessstatus bietet. HPR-30 Multi-Inlet-Wagen mit mehreren flexiblen Einlässen, 1 m lang und Tri-Valve-Manifold-Anschluss mit automatischer Umschaltung für die Analyse über einen breiten Prozessdruckbereich. HPR-30 SGL mit einer einzigen beheizten Probenahmeleitung für Anwendungen, bei denen der Platz für den Anschluss der Probenahme begrenzt ist und bei denen die Analyse von weniger flüchtigen Reaktionsprodukten eine vollständig beheizte Einlasslösung erfordert. Eine zeitaufgelöste Datenerfassung, die für die Überwachung von gepulsten Abscheidungsprozessen geeignet ist, wird als Systemoption angeboten.