System zur Analyse von sekundären positiven und negativen Ionen aus festen Proben
Hiden Analytical liefert erstklassige Massenspektrometrielösungen und innovative Werkzeuge für die Ionenanalyse, darunter das bewährte Hiden EQS. Dieses elektrostatische Quadrupol-Sekundärionen-Massenspektrometer (SIMS) mit hoher Transmission ist eines unserer beliebtesten Detektionssysteme für die Oberflächenanalyse von Dünnschichten im Forschungsmaßstab. Der EQS SIMS-Analysator ist ein idealer Zusatzanalysator für XPS- und FIB-Mikroskopiesysteme mit fokussiertem Ionenstrahl.
FIB-SIMS für die Materialanalyse im Nanomaßstab
Batterieforschung
Kerntechnische Materialien
UHV-Oberflächenforschung
Der Hiden EQS ist ein einzigartiger elektrostatischer Quadrupol-SIMS-Detektor, der auf die massenspektrale Analyse von positiven (+ve) und negativen (-ve) Sekundärionen aus festen Proben spezialisiert ist. Mit seinem integrierten elektrostatischen 45°-Sektor-Ionenenergieanalysator kann der Hiden EQS gleichzeitig die Ionenenergie mit einer Auflösung von 0,2 Elektronenvolt (eV) analysieren. Dies macht ihn zu einem der vielseitigsten Werkzeuge für Ionenanalysen in einer Reihe von Massenspektrometrie-Anwendungen, darunter:
Erweiterung des Empfindlichkeitsbereichs von XPS um einen Faktor von über 1000
Dynamische und statische SIMS
Massenspektrometrie mit fokussiertem Ionenstrahl (FIB)
Sekundäre neutrale Massenspektrometrie (SNMS)
Sputter-Tiefenprofilierung
Analyse der Masse/Energie von gesputterten Ionen und Neutronen
Das Hiden EQS ist ein beliebtes Nachrüstsystem, das sich ideal für XPS-Systeme und FIB-Mikroskopiesysteme mit fokussiertem Ionenstrahl eignet. Es bietet eine hohe Empfindlichkeit und optionales differentielles Pumpen, um die Anforderungen der Benutzer an Bildgebung, Tiefenprofilierung und Massenspektren in einer Reihe von Anwendungen zu erfüllen.
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