Sekundärionen-Massen-Spektrometer Compact SIMS

zur AnalyseMessschnell

Compact SIMS - ein Durchbruch bei der Oberflächenanalyse Das Hiden Compact SIMS-Gerät wurde für die schnelle und einfache Charakterisierung von Schichtstrukturen, Oberflächenverunreinigungen und Verunreinigungen entwickelt. Die empfindliche Detektion positiver Ionen wird durch den primären Sauerstoff-Ionenstrahl unterstützt und bietet Isotopenempfindlichkeit für das gesamte Periodensystem. Die Geometrie der Ionenkanone ist ideal für eine Tiefenauflösung im Nanometerbereich und für oberflächennahe Analysen. Kontamination mit Silikon Dünne Schichten Optische Beschichtung Elektronische Materialien Flexible Solarzelle Das kompakte SIMS-Gerät von Hiden ist für die schnelle und einfache Charakterisierung von Schichtstrukturen, Oberflächenverunreinigungen und Verunreinigungen konzipiert. Die empfindliche Detektion positiver Ionen wird durch den primären Sauerstoff-Ionenstrahl unterstützt und bietet eine Isotopenempfindlichkeit für das gesamte Periodensystem. Die Geometrie der Ionenkanone ist für eine Tiefenauflösung im Nanometerbereich und eine oberflächennahe Analyse optimiert. Über ein Drehkarussell können 10 Proben gleichzeitig zur Messung in die trockengepumpte Vakuumkammer geladen werden. Das Gerät hat eine kleine Stellfläche und ist außergewöhnlich einfach zu bedienen. Es verfügt über die gleiche Steuerungssoftware und das gleiche Ionenkanonensystem wie die voll ausgestattete Hiden SIMS Workstation-Familie und liefert Tiefenprofile, 3D- und 2D-Bilder sowie Massenspektraldaten. Der MAXIM-600P Detektor basiert auf dem äußerst zuverlässigen Hiden 6mm Triple-Quadrupol-Massenfilter mit Pulsionendetektion. Für die Analyse von isolierenden Proben ist eine Elektronenkanone erhältlich. Zusätzlich zu SIMS verfügt das Compact SIMS über eine SNMS-Funktion, die für die Quantifizierung von Elementen mit hoher Konzentration, wie z. B. Legierungen, nützlich ist.