Rechteckig: Kantenlänge 0,5 mm – 600 mm
Rund: Ø 0,5 mm – 600 mm
Dicke
0,1 mm – 50 mm (je nach Abmessung)
Toleranzen
Ebenheit: bis λ/10 (je nach Abmessung, Verhältnis Ø/größte Kantenlänge zur Dicke ≤ 6 wählen), bis 250 mm Ø/Kantenlänge messbar, bis 150 mm dokumentierbar
Parallelität: bis 1” je nach Abmessung
Wellenfrontdeformation: bis λ/10 je nach Abmessung
Dicke: bis ± 0,005 mm