Als sauberes Logistiksystem für Halbleiter ist es ein automatisches Lift- und Lagersystem, das die Wafer FOUP&FOSB in jede Etage transportiert.
Spezifikation
Hubweg: Maximal 60m
Hubgeschwindigkeit: 360m/min
Gabel Ladezeit: innerhalb 3sec
Beschleunigung/Verzögerung: 2m/sec²
Vibration: Nicht größer als RMS 0.8G
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