Vertikales automatisches -Lagersystem für Kassettefür Plattenmit konstanter Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle
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Eigenschaften
- Typ
- vertikal
- Betätigung
- für Kassette, für Platten
- Gelagerte Güter
- mit konstanter Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle
Beschreibung
通过半导体洁净物流设备，存储/分类Wafer FOUP, FOSB, POD, Cassette的自动存储系统(Auto Storage System)可呈现符合不同半导体种类要求配置的Chamber Type、Rack Type等各种不同的形态。
规格
环境清洁等级: Class1~Class1000
速度：1.5m/秒
升/降时间：2.5m/sec2
震动：RMS 0.5 G以下
清洗：平时PN2 Purge构成
环境控制：湿度、温度、压力、氧气浓度
Kataloge
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Display/Clean Logistics
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.