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Auftragsmaschine T-aSi (Oxidation + a-Si)
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Beschreibung
Dieses System wird für die In-situ-Oxid- und Polyabscheidung für die TOPCon-Zelle verwendet, die den selektiven Einfang von Elektronen durch Verbesserung der Rekombinationsrate ermöglicht.
Spezifikation
Hoher Durchsatz: 4.702 Wafer/Stunde (640 Wafer/Boot)
Zykluszeit: 49 Minuten
Betriebszeit: 97%
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.