Die Niederdruckdiffusion gilt derzeit als wirksame Methode zur Verbesserung der Umwandlungseffizienz von Solarzellen.
Die Niederdruckdiffusion gilt derzeit als wirksame Methode zur Verbesserung des Umwandlungswirkungsgrads von Solarzellen. Die Niederdruckdiffusion/Streuoxidationsglühung verbessert die molekulare freie Weglänge der Diffusionsquelle und löst die Probleme der Diffusionstiefe und -gleichmäßigkeit. Im Vergleich zur Diffusion bei Atmosphärendruck hat sie einige bedeutende Vorteile, wie z. B. hohe Produktivität, hohe quadratische Beständigkeit, Wiederholbarkeit des Prozesses, geringer Quellenverbrauch, Sauberkeit und Umweltfreundlichkeit usw. Diese Anlage wird hauptsächlich für die Diffusionsdotierung und das Oxidationsglühen von Siliziumwafern bei der Herstellung von kristallinen Silizium-Solarzellen verwendet.
Wichtigste Merkmale
Ausgereiftes Prozess-, Be- und Entladesystem mit hoher Kapazität: ausgewogenes und symmetrisches Design zur Verbesserung der Stabilität;
Schnell abkühlender Ofenkörper: Die neueste patentierte Technologie sorgt dafür, dass die Temperatur des Ofenkörpers schnell auf die erforderliche Temperatur sinkt, die Abkühlungsrate wird um mehr als 25% erhöht, was die Temperaturgleichmäßigkeit im Ofenrohr deutlich verbessern kann;
Das Abgas wird von einem hocheffizienten wassergekühlten Kondensator aufgefangen, um einen stabilen und zuverlässigen Betrieb von Rohren, Ventilen, Filtern und Membranpumpen sowie lange Wartungszeiten zu gewährleisten;
Stabiles Design der Anti-Interferenz-Quellleitung, um die Schwankungen des quadratischen Widerstands zu reduzieren, die durch die Störung von Umweltfaktoren verursacht werden;
MES/CCRM-System mit vollständiger Architektur und hervorragender Leistung.
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