Auftragsmaschine / Hoch -PE-CVD FALO

Dünnschichtfür Photovoltaikanwendung

Es eignet sich für das Wachstum von dichtem Aluminiumoxid und anderen Rückseitenpassivierungsfilmen im Prozess der hocheffizienten kristallinen Silizium-Perk-Batterie. Kontinuierliches Umschalten zwischen verschiedenen Filmen; Unterstützung des Bootsschiebemechanismus an beiden Enden, um Jitter zu eliminieren, die Geschwindigkeit zu verbessern, die Last zu erhöhen und die Zuverlässigkeit erheblich zu verbessern (Patent). Die Zeit für das Betreten und Verlassen des Bootes darf nicht mehr als 20 Sekunden betragen (ohne das Einnehmen und Loslassen des Bootes); Speziell geformter doppelter Ofentürmechanismus zur Verringerung des Wärmeverlustes (patentierte doppelte Ofentürstruktur); Graphit-Bootselektroden-Technologie: elektrischer Elektrodenoberflächenkontakt, Vorder- und Hinterelektroden sind ergänzt, und die Schwanzelektrode ist außerhalb des Ofenrohrs einstellbar; Schnelles Abkühlen des Ofenkörpers: Die neueste patentierte Technologie wird eingesetzt, so dass die Temperatur des Ofenkörpers schnell auf die erforderliche Temperatur gesenkt werden kann und die Abkühlungsgeschwindigkeit um mehr als 25 % erhöht werden kann, wodurch die Temperaturgleichmäßigkeit im Ofenrohr erheblich verbessert wird; Patentierte parallele Wärmeableitung der Bootsspeicherposition: Verbesserung der Kühlwirkung, Verkürzung der Kühlzeit um mehr als 15 %, Vermeidung des Bodens und des Lufteinlasses von der Vorderseite der Konsole, um die innere Sauberkeit der Konsole zu verbessern; Quarzrohr-Hilfshebewerkzeug, das die Schwierigkeiten bei der Installation, der Wartung und dem Austausch des Quarzrohrs erheblich reduziert; Die Kompaktheit des Films ist höher als die des indirekten Plasmas; Es hat eine bessere Passivierungswirkung als ALD.