Das PHEMOS-X ist ein hochauflösendes Emissionsmikroskop, das Fehlerstellen in Halbleiterbauelementen aufspürt, indem es die von Defekten verursachten schwachen Licht- und Wärmeemissionen erkennt.
Zwei ultrahochempfindliche Kameras sind montierbar
Die Abdeckung verschiedener Detektionswellenlängenbereiche für die Emissionsanalyse und die thermische Analyse ermöglicht die einfache Auswahl einer Analysetechnik, die der Probe und der Fehlerart entspricht.
Bis zu 5 Lichtquellen für OBIRCH, DALS und EOP sind montierbar
Hochpräziser Tisch für fortschrittliche Geräte
Das PHEMOS-X überlagert das Emissionsbild mit einem hochauflösenden Musterbild, um Fehlerstellen schnell zu lokalisieren.
Die Kontrastverstärkungsfunktion macht ein Bild klarer und detaillierter.
Display-Funktion
Anmerkungen: Kommentare, Pfeile und andere Indikatoren können an jeder beliebigen Stelle eines Bildes angezeigt werden.
Anzeige des Maßstabs: Die Skalenbreite kann mit Hilfe von Segmenten auf dem Bild angezeigt werden.
Rasterdarstellung: Vertikale und horizontale Rasterlinien können auf dem Bild angezeigt werden.
Thumbnail-Anzeige: Bilder können als Miniaturansichten gespeichert und abgerufen werden, und es können Bildinformationen wie z. B. die Koordinaten der Bühne angezeigt werden.
Geteilte Bildschirmanzeige: Musterbilder, Emissionsbilder, überlagerte Bilder und Referenzbilder können gleichzeitig in einem 6-Fenster-Bildschirm angezeigt werden.
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