Optisches Mikroskop C11222-16

InspektionNahinfrarotDigitalkamera

Das PHEMOS-1000 ist ein hochauflösendes Emissionsmikroskop, das Fehlerstellen in Halbleiterbauelementen lokalisiert, indem es die schwachen Lichtemissionen und Wärmeemissionen erkennt, die von Halbleiterbauelementdefekten verursacht werden. Da das PHEMOS-1000 in Kombination mit einem Allzweck-Prober verwendet werden kann, können Sie verschiedene Analyseaufgaben unter Verwendung der Ihnen bereits bekannten Probenaufbauten durchführen. Die Installation eines optionalen Laser-Scan-Systems ermöglicht die Aufnahme von hochauflösenden Musterbildern. Für verschiedene Analysetechniken wie Emissionsanalyse, Thermoanalyse und IR-OBIRCH-Analyse stehen unterschiedliche Detektortypen zur Verfügung. Die PHEMOS-1000 unterstützt eine Vielzahl von Aufgaben und Anwendungen, die von Prober-Sockelplatten bis hin zu einem großformatigen 300-mm-Waferprober reichen. Merkmale - Zwei Kameras mit ultrahoher Empfindlichkeit montierbar - Laser für bis zu 3 Wellenlängen und eine Probe-Lichtquelle für EOP sind montierbar - Ausgestattet mit einem optischen Tisch, geeignet für diverse Proben Optionen - Inklusive Laser-Scan-System - Emissionsanalyse mit hochempfindlicher Nah-Infrarot-Kamera - Thermische Analyse mit hochempfindlicher Mittel-Infrarot-Kamera - IR-OBIRCH-Analyse - Dynamische Analyse durch Laserbestrahlung - EO-Sondierungsanalyse - Hochauflösende und hochempfindliche Analyse mit NanoLens - Anbindung an CAD-Navigation - Anbindung an LSI-Tester